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特殊ガス大容量用と開発された新商品ですが、一般ガスにも使用いただけます。
大量特殊ガス供給用新型高流量超精密減圧システム、“HPC-300”
高出力駆動部とメタルシートの採用により、低温従来のレギュレータで大きな問題であった、
1次側圧力や流量が変化した場合の圧力調整精度を、設定圧力の±0.5%以内に制御します。
状態における諸問題を低減できます。
(例えば、ステム凍結による制御不良、シート損傷によるリーク量増大など)
1次側に遮断弁を標準装備しています。よって弁の出流れは、ありません。
各種アラーム出力可能なフェールセーフ機能付です。
ボディー温度制御回路を標準装備しています。(Max
1kW)
ガス種、圧力、流量、温度などにより、最適設計を行いますので、使用流体条件をお知らせく
ださい。
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