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2LN ハイブリット
集積化安全弁

UHP規格に準拠した、UCVシリーズのサーフェスマウントモデル。SEMI
PR3.11.125”Cシール接続に対応。コンパクトなデザインでCv0.27を実現しています。



HPC

特殊ガス大容量用と開発された新商品ですが、一般ガスにも使用いただけます。

大量特殊ガス供給用新型高流量超精密減圧システム、“HPC-300”
高出力駆動部とメタルシートの採用により、低温従来のレギュレータで大きな問題であった、
1次側圧力や流量が変化した場合の圧力調整精度を、設定圧力の±0.5%以内に制御します。
状態における諸問題を低減できます。
(例えば、ステム凍結による制御不良、シート損傷によるリーク量増大など)
1次側に遮断弁を標準装備しています。よって弁の出流れは、ありません。
各種アラーム出力可能なフェールセーフ機能付です。
ボディー温度制御回路を標準装備しています。(Max 1kW)
ガス種、圧力、流量、温度などにより、最適設計を行いますので、使用流体条件をお知らせく
ださい。




ベローズ弁

ハムレット・モトヤマ・ジャパンのベローズバルブ(KSK)は半導体製造分野のN2 ラインや
クリーンドライ空気ラインのHook-up配管用として、1995年以来、既に多くの工場で使用されています。
さらに、外部リークを嫌う各種ハイテク分野や一般産業にも、広い利用範囲があります。
弁ステム封止用パッキンやガスケットのかわりに、ステンレススチールベローズによって、
弁の完全密閉性をもたせた構造です。




カシメシートのEVZシリーズ
高純度ライン用汎用型

世界で初めてウルトラクリーンダイヤフラムバルブを開発したUCV技術を継承した、
低コスト版ウルトラクリーンバルブ。

■1/4"から1/2"までのサイズで幅広い接続に対応
■開閉表示付240度回転ハンドルを標準で装備、直接開閉表示方式で安全性向上
■2万回以上の開閉サイクル
■EP電解研磨品標準(LET-LOK 継手部は未研磨)
■金属製ハンドル仕様で小型化と軽量化を達成

開閉インジケータは開閉状態の目安です。
バルブ開閉時にはハンドルがストッパーに当たるまで確実に操作してください。



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